测薄膜厚度用哪种仪器好？薄膜厚度测量仪推荐

在薄膜领域，检测薄膜的厚度有很大挑战；但薄膜厚度对实际生产又是很重要的指标，由于薄膜的厚度是各层树脂厚度的总和，如果薄膜的整体厚度均匀性差，其中各层树脂的厚度分布也会存在差异。

毫无疑问，对涂层厚度的检测将更有利于有效控制薄膜各层的厚度均匀性，但对于多层薄膜若想精确测量每一涂层的厚度，在相应的厚度检测设备上就需要有非常大的投资，并随着薄膜层数的增长而加大，给企业带来较大的经济负担。

比较经济的方式是对部分价格昂贵的涂层材料进行涂层厚度的检测，同时加强对薄膜整体厚度的测试，以达到有效控制其他各层材料厚度均匀性的作用。这里给大家推荐大成精密生产的β射线测厚仪以解决薄膜厚度测量的问题：

测量原理

β射线穿透极片时，被极片反射、散射、吸收，导致穿透的射线强度相对于入射射线强度有一定的衰减。衰减比例与被穿透物体的厚度/密度呈负指数关系。通过测量穿透前后的射线强度，即可推断出极片的量（面密度、厚度、重量）。

射线强度与重量的关系式如下：

典型应用：

本设备应用于锂电池正、负极涂布、纸张的面密度测量。应用在锂电池涂布工序时，该设备可放置于涂布机放卷后、涂布头前，测量待涂布基材的面密度；也可以放在烘箱外、收卷前、测量已烘干的极片面密度。

实际使用过程中，由于环境温度及湿度在不停变化，射线强度、射线感应器性能也随时间缓慢漂移。要把该测量原理应用到工业场合，提高测量精度，必须在该模型中实时加入温修补偿机制。

系统采用两点温修的修正模型。在扫描架的一端留有足够的空气空间以保证扫描架能正确采样射线穿透空气后的强度，该值称为温修值。在扫描行程内配置了一块热性能和机械性能稳定的Mylar样本，系统会定期扫描该样本，采样穿透样本后的射线强度，该值称为样本AD值。得到温修值、样本AD值和Mylar的等效重量后，测量原理公式中的λ就被唯一指定，一条内部极片吸收曲线即被确定下来。温修值和样本AD值如同β射线面密度测量仪系统的脉搏一样，能正确反映测量系统所处的状态，也决定了系统的稳定性精度。

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